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Silizium kann verschiedene Kristallstrukturen (Morphologien) aufweisen. Ordnen sich die Atome zu winzigen Kristallkörnern mit Durchmessern in der Größenordnung Nanometer bis Mikrometer, bezeichnet man die Struktur als mikrokristallin. Im Gegensatz zu makrokristallinen Strukturen, die mit blossem Auge sichtbar sind, sind mikrokristalline Stoffe nur unter dem Mikroskop erkennbar. Während sich die Atome bei kristallinem Silizium regelmässig in einer Gitterstruktur anordnen, entsteht durch die abnehmende Teilchengröße in mikrokristallinem Silizium zunehmende strukturelle Unordnung. Mikrokristallines Silizium besteht somit aus kristallinen Körnern, die in ein amorphes Material eingebettet sind. Somit hat mikrokristallines Silizium optische Eigenschaften wie kristallines Wafermaterial, kann aber auf jede beliebige Fläche, zum Beispiel per Plasmaabscheidung, aufgetragen werden.

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